穿透式電子顯微鏡

儀器-穿透式電子顯微鏡(TEM)
簡稱TEM
英文名稱Transmission Electron Microscope
功能說明1.穿透影像觀察(可至nm等級) 2.電子繞射作晶體結構分析(可作SAD及NBD)。 3.提供高亮度空間解析度的電子束,適合多樣化的試片分析。
購置日期93.07.30
購置金額7,595,095元
廠牌JEOL
型號JEM2010
儀器規格1.Performance:
 ●Resolution:0.25nm(point resolution)、0.14nm(Lattice Resolution)
 ●Magnification:50 to 1200000x
2.Electron Optics:
 ●Electron gun: LaB6
 ●Energy spread (eV): 1.5
 ●Condition Lift (hr):10000
 ●Vacuum (Pa):10-5
 ●Temperature (K):1800
 ●Short time stability: 1%
 ●long time stability:3% Hr
 ●Current efficiency:100%
3.TEM mode:
影像觀察,解析度可達0.23nm(AHR),倍率可達百萬以上,並可利用OBJ aperture觀察明場像(Bright field image,一般觀察)或暗場像(Dark field image,某特定繞射晶面或缺陷觀察)。
4.SAD mode:
選區繞射利用選區aperture做um級的繞射,鑑定晶體結構。
5.NBD mode:
微區繞射(nano beam diffraction)利用微細電子束作nm級的繞射,鑑定微區晶體結構。
6.數位式CCD影像系統:
 ●CCD Active area: 36mm × 24mm
 ●CCD Size: 4008 × 2672 pixels, each pixel 9μm × 9μm
附加配件1.Single Tilting Holder:標準樣品槽座
2.Double Tilting Holder:Beryllium材質,雙傾斜基座:X軸±40°±;Y軸±30°。
3.Cooling Double Tilting Holder:可適用於易受熱破壞之材料或生物型樣品。
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